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為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其Z大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發生的在低壓下抽真空能力的下降，實現氣室的良好干燥和快速除氣的目的。

可用來對已抽真空的氣室進行充氣； 還可對已充氣的氣室進行補氣； 分為便攜式和手推車式。

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六氟化硫高壓電氣設備（斷路器、GTS、互感器等）在運行中要進行常規試驗，如六氟化硫氣體中含水量測試，多次測試或因為選用測試儀器耗氣量大等原因會導致本體內部壓力、密度下降，從而需要補充新的六氟化硫氣體。在對新的六氟化硫高壓電氣設備充氣、現場投運設備的補氣等工作時，目前一般的操作方法都采用普通氧氣減壓閥普通橡膠管（吸水性強，長期不使用管內水分含量在上萬ppmv）等工具。

產品功能簡介1.裝置設計為可執行SF6氣體處理所需的全部功能;2.和存儲SF6 3.SF6直接液化在經認證的氣瓶內;4.可調充氣壓力，確保了SF6再回充的安全性5.壓力數字顯示產品技術參數 1.基本部件2.真空泵44m3/h3.真空度顯示（電子式）4.球閥3/4“ 316型5.連接槽件DN8（用于連接SF6氣體回充裝置）6.軟管5m 7.連接插件20*1.5（可選配各種類型的斷路器接口）

抽真空系統、凈化 系統、氣體貯存系統組成，具有如下主要功能： 1、 對裝置本機以及電器設備、貯罐、抽真空和真空度的測量； 2、 對SF6電器設備中的氣體進行回收； 3、 對回收和回充的SF6氣體進行干燥、凈化處理； 4、 對SF6電器進行快速氣化充氣； 5、 對電器中SF6氣體進行壓縮液態貯存; 6、 對SF6氣體液化罐入鋼瓶;